在有些應(yīng)用中，根據(jù)樣品的形狀、裝夾方法、或者模擬樣品使用狀態(tài)下測量，正立式干涉儀結(jié)構(gòu)相比臥式和倒立式更有優(yōu)勢。例如半球形球罩面形和曲率半徑的測量，正立式結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)盤上測量以及下盤后的無夾持應(yīng)力測量，而臥式結(jié)構(gòu)無法夾持半球，倒立式結(jié)構(gòu)測量盤上時(shí)需要支撐樣品和磨盤的重力，易造成樣品變形。
G100U和G150U是乾曜光學(xué)新開發(fā)的兩款正立式激光干涉儀工作站，有效口徑分別為101.6mm（4英寸）和152.4mm（6英寸）。可以測量平面面形、球面面形和曲率半徑，選配雙五維載物臺(tái)，可以測量透過波前和非球面的補(bǔ)償法測量。
