平面平晶是用于以光波干涉法測(cè)量塊規(guī)，以及檢驗(yàn)塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面測(cè)量?jī)x器及測(cè)量工具量面的研合性和平面度的工具。平面平晶分為單、雙工作面平晶。按照用途也可分為標(biāo)準(zhǔn)平晶和工作平晶兩大類。工作平晶分為1，2級(jí)，標(biāo)準(zhǔn)平晶分為1，2級(jí)。其外形見(jiàn)圖

乾曜光學(xué)提供普通精度的平面標(biāo)準(zhǔn)鏡和超精密球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，均包含平面透射標(biāo)準(zhǔn)鏡和平面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡。有效口徑有150mm（6英寸），100mm (4英寸），60mm，30mm。150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo通用，60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。